微机电打印芯片制造

微机电打印芯片是在日本Nagano县的爱普生SuWaMiMai工厂制造的。三个硅芯片-一个TFP执行器，一个墨水通道，和一个喷嘴板-粘合在一起。通过TFP致动器的泵作用，通过墨通道的墨流路径进入的墨从喷嘴倾轧。它的立异薄膜压电手艺被用来生产TFP致动器，其立异的MEMS手艺被用来制造芯片组件。

1：ThinFilm Piezo（TFP）手艺

TFP致动器是在硅衬底上形成的很是薄的压电元件。压电元件在施加电压时缩短。这一运动提供了驱动墨水从喷嘴板流入墨水流动路径的动力。

薄膜压电手艺被用来在硅晶片上匀称地形成压电元件，一微米厚的薄膜。接纳自己的结晶工艺烧结，形成具有一致取向的优质陶瓷晶体。

这些TFP致动器提供了很是准确的控制液滴巨细和安排和惊人准确的打印。这是由于它们的匀称晶体结构意味着当它们缩短时，它们坚持匀称的位移，并且由于压电薄膜的极端薄允许更大的缩短，因此有更大的位移。

爱普生自己制造压电元件的质料
；棺灾骺⒘擞糜诤铣芍柿系幕Х从桃约昂铣勺氨
；竦米罴蜒沟缰柿弦灾阊沟缭的性能要求对他来说是一个重大的优势。

2：微机电系统科技

高精度，三维亚微米光刻是爱普生MEMS工艺强度的源泉。在通俗的半导体制造中，平面加工所需的尺寸精度很高，可是厚度所要求的精度并不是那么高。在光刻工序中使用的工业装备通常有百分之几的转变，但能够将这种转变限制在从五分之一到十分之一的规模内。

这种精度凌驾古板系统，是业内最好的。正是这使得我们能够形成极其细腻重大的TFP致动器、墨水通道和喷嘴板。这些都提供了对喷墨墨水体积的微微级控制和在媒体上安排点的很是准确。

在光敏树脂上爆发的热头喷嘴只长约几微米。相比之下，在硅片上生产的MicroTFP印刷芯片中的喷嘴可以是长度的10倍以上，并且这个更大的喷嘴长度转化成更准确的墨滴位置。